产品简介：射频等离子体工艺专用信号监测与调理部件，用于实时采集射频电压、电流、功率、匹配状态信号，转换为标准控制信号供主控系统判断等离子体稳定性。技术规格
- 采集频段：400kHz–13.56MHz 全频段兼容
- 测量精度：电压 ±0.5%，功率 ±1%
- 输出信号：0–10V 模拟量、RS485 数字信号
- 隔离耐压：输入输出间 3000VAC 光电隔离
- 工作电源：24VDC功能特点
- 实时采集射频关键参数，无失真、无延迟
- 高隔离设计，避免高压信号串扰控制系统
- 抗干扰能力强，适应等离子体强电磁环境
- 信号线性度高，长期使用无漂移
- 支持自动校准，免维护运行应用场景
- PECVD、ICP 蚀刻、RIE 蚀刻设备射频系统
- 等离子体清洗、表面改性工艺
- 射频功率与匹配状态实时监控
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 