产品名称：设备主控逻辑处理板卡产品简介：半导体设备主机控制系统核心运算与逻辑处理单元，负责整机运动控制、工艺时序调度、I/O 信号逻辑运算、故障诊断与安全联锁，保障设备自动化运行稳定可靠。技术规格
- 板载处理器：工业级 32 位高性能主控芯片
- 存储配置：16MB SDRAM 运行内存，32MB Flash 程序存储
- 通信接口：RS485、CAN、以太网多路通信接口
- 工作电压：24VDC 工业标准供电
- 工作环境：温度 0–65℃，湿度 5–95% 无冷凝
- 防护能力：EMI/EMC 抗电磁干扰设计功能特点
- 高速实时运算，控制响应延迟低于 1ms
- 多任务并行处理，支持多腔体、多机械手协同控制
- 自带故障自检、过流、过压、短路保护
- 信号全隔离传输，避免现场干扰导致控制异常
- 支持固件在线升级，兼容多代设备系统应用场景
- 应用材料 Centura、Endura、P5000 系列设备主控系统
- 晶圆传输、真空控制、工艺时序逻辑控制
- 半导体自动化生产线设备主控单元
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 