产品简介：半导体特气系统专用高纯气体输送软管，用于工艺气体、载气、吹扫气体的柔性连接与输送，保障气体无泄漏、无污染、高纯度输送，适配复杂管路布局。技术规格
- 软管材质：内层 PFA/PTFE，外层不锈钢编织网，长度 2 米
- 耐压等级：0–20MPa，爆破压力≥60MPa
- 适用气体：惰性气体、腐蚀性气体、易燃气体兼容
- 洁净等级：EP 级电解抛光，无油污、无金属杂质
- 接头类型：1/4" VCR 高纯接头，316L 不锈钢材质功能特点
- 高纯材质，无析出、无挥发，保障气体纯度
- 柔性设计，适配复杂管路布局，安装便捷
- 耐化学腐蚀、耐高低温、耐老化，使用寿命长
- 密封可靠，终身免维护泄漏，漏率≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 低流阻、大通量，不影响气体输送效率应用场景
- 半导体特气柜、VMB 阀门箱、MFC 流量计管路连接
- 工艺腔体、真空系统、尾气处理系统气体输送
- 12 英寸晶圆厂高纯工艺气体柔性输送管路
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 