产品名称：气体压力调节阀组件产品简介：半导体特气系统专用高精度压力调节部件，稳定工艺气体、载气、吹扫气体压力，保障气体流量精准可控，是气路系统核心部件。技术规格
- 调压范围：0.05–1.0MPa 连续可调
- 压力精度：±0.005MPa，稳定性 ±0.001MPa
- 材质：316L EP 级不锈钢，密封 Viton
- 接口规格：1/4" VCR 高纯接头
- 适用气体：惰性、腐蚀性、易燃性气体兼容功能特点
- 压力调节平滑无脉动，保障流量稳定
- 低泄漏、低释气，满足超高洁净要求
- 耐化学腐蚀，适配危险工艺气体
- 结构紧凑，安装空间小
- 使用寿命长，免维护周期长应用场景
- 特气柜、VMB 阀门箱、MFC 前端压力调节
- CVD、PVD、蚀刻、离子注入气路系统
- 12 英寸晶圆厂高纯气体管路
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 