产品名称：晶圆传输机械手末端执行器（End Effector）产品简介：半导体晶圆传输系统专用机械手末端抓取部件，实现晶圆精准、平稳、无划伤抓取与搬运，是晶圆传输系统核心部件。技术规格
- 适用晶圆：200mm/300mm 标准晶圆
- 材质：高纯陶瓷 + 碳纤维复合结构
- 承载能力：最大 500g，重复定位精度≤±0.01mm
- 表面处理：镜面抛光，Ra≤0.2μm，低颗粒释放
- 洁净等级：Class 10 洁净室适用
- 安装接口：标准机械手法兰接口功能特点
- 轻量化设计，运动惯性小，响应速度快
- 柔性接触，避免晶圆边缘划伤与崩边
- 高纯度材质，无金属析出、无颗粒污染
- 结构刚性强，长期运行无变形、无松动
- 安装便捷，无需工具即可快速更换应用场景
- 晶圆传输机械手、真空机器人、EFEM 系统
- 工艺腔体、真空锁、检测设备间晶圆交接
- 8/12 英寸晶圆全自动生产线传输系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 