产品名称：CMP 设备十字轮组件产品简介：应用于 Mirra 系列化学机械抛光（CMP）设备的核心传动部件，用于承载与驱动抛光头，保障晶圆抛光过程中运动平稳、受力均匀，是 CMP 设备稳定运行的关键机械组件。技术规格
- 适用设备：Mirra 系列 CMP 设备
- 材质：高强度不锈钢 + 耐磨工程塑料复合结构
- 承载能力：最大负载 50kg，运行转速 0–150rpm
- 配合精度：同轴度≤0.02mm，表面粗糙度 Ra≤1.6μm
- 安装方式：法兰式固定，定位精准功能特点
- 高刚性结构，长期运行无变形、无松动
- 耐磨材质，使用寿命长，减少维护频率
- 传动平稳，无抖动、无噪音，保障抛光均匀性
- 适配标准 CMP 设备，安装便捷，更换无需复杂调试
- 抗抛光液腐蚀，适应 CMP 工艺恶劣环境应用场景
- Mirra 系列 CMP 设备抛光头传动系统
- 200mm/300mm 晶圆化学机械抛光工艺
- 半导体晶圆厂 CMP 设备维护与备件更换
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 