产品名称：真空规管安装法兰组件产品简介：半导体真空系统专用真空规管安装部件，用于真空规管与腔体的密封连接，保障真空度测量精准、无泄漏，是真空监测系统的核心结构件。技术规格
- 适用规管：热阴极、冷阴极、皮拉尼真空规管
- 法兰规格：KF25、KF40、ISO63 标准法兰
- 材质：316L 不锈钢，表面电解抛光
- 密封性能：漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，无泄漏
- 安装方式：卡箍式 + 密封垫圈，安装便捷功能特点
- 密封可靠，无真空泄漏，保障测量精度
- 耐真空、耐工艺气体腐蚀，使用寿命长
- 适配多种真空规管，通用性强
- 安装便捷，无需工具即可快速更换
- 结构紧凑，节省安装空间应用场景
- 半导体工艺腔体、传输腔、真空锁真空监测
- 热阴极、冷阴极、皮拉尼真空规管安装
- 超高真空（UHV）系统真空度测量
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 3200-00004 