产品名称：设备主控通信接口模块产品简介：半导体设备专用高速通信接口单元，实现主控系统与各子模块、传感器、执行器之间的数据传输与指令交互，是设备自动化控制的核心通信部件。技术规格
- 通信协议：EtherCAT、Profinet、RS485、以太网兼容
- 传输速率：EtherCAT 100Mbps，以太网 1Gbps
- 接口数量：4 路 EtherCAT+2 路 RS485+2 路以太网
- 隔离耐压：各接口间 2500VAC 光电隔离
- 工作温度：-10℃–70℃，防护等级 IP20功能特点
- 多协议兼容，适配主流设备通信系统
- 高速传输，数据无延迟，保障控制实时性
- 全隔离设计，抗电磁干扰能力强
- 支持热插拔，维护便捷，不影响设备运行
- 模块化设计，可灵活扩展通信接口应用场景
- 半导体设备主控系统通信网络
- 主控与机械手、MFC、真空系统、温控系统数据交互
- Centura、Endura 系列设备通信控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 