产品名称：腔体温度传感器组件产品简介：半导体工艺腔体专用高精度温度监测部件，实时采集腔体壁、基座、喷淋头等关键位置温度信号，传输至温控系统，保障工艺温度稳定。技术规格
- 传感器类型：K 型热电偶 + PT100 铂电阻双传感
- 测温范围：-50℃–600℃，精度 ±0.1℃
- 响应时间：≤100ms，温度数据无延迟
- 材质：316L 不锈钢保护套管，耐工艺气体腐蚀
- 安装方式：螺纹固定 + 密封垫圈，安装便捷功能特点
- 双传感设计，数据冗余，保障监测可靠性
- 高精度、快响应，满足精密工艺温度控制需求
- 耐化学腐蚀、耐高温，适应恶劣工艺环境
- 信号稳定无漂移，长期使用无需频繁校准
- 适配多种腔体结构，安装位置灵活应用场景
- PVD、CVD、蚀刻、退火设备腔体温度监测
- 晶圆基座、气体喷淋头、腔体壁温度采集
- 先进制程晶圆制造工艺温度控制系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 