产品名称：晶圆定位销组件产品简介：半导体工艺腔体专用晶圆定位部件，用于晶圆在静电吸盘或加热基座上的精准定位，保障晶圆位置稳定，是工艺均匀性的关键保障部件。技术规格
- 适用晶圆：200mm/300mm 标准晶圆
- 材质：高纯陶瓷 + 不锈钢复合结构
- 定位精度：≤±0.01mm，重复定位精度≤±0.005mm
- 高度规格：5–15mm 可选，表面粗糙度 Ra≤0.8μm
- 安装方式：嵌入式固定，定位精准功能特点
- 高纯度材质，无金属析出、无颗粒污染
- 耐磨、耐腐蚀，长期使用无磨损、不变形
- 定位精准，保障晶圆工艺均匀性
- 安装便捷，无需工具即可快速更换
- 适配静电吸盘、加热基座等晶圆承载结构应用场景
- PVD、CVD、蚀刻、离子注入设备晶圆定位
- 静电吸盘、加热基座晶圆固定系统
- 先进制程晶圆制造工艺设备
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 