产品名称：真空腔体铰链组件产品简介：半导体真空腔体专用铰链部件，用于腔体上盖与腔体主体的连接，实现上盖平稳开启与关闭，保障腔体密封与操作安全，是真空腔体核心结构件。技术规格
- 适用腔体：200mm/300mm 标准工艺腔体
- 材质：316L 不锈钢，表面抛光处理
- 承载能力：最大负载 100kg，开启角度 0–180°
- 配合精度：同轴度≤0.03mm，运行无卡顿
- 密封配合：适配腔体密封结构，无真空泄漏功能特点
- 运行平稳，无抖动、无噪音，操作便捷
- 高刚性结构，长期使用无变形、不松动
- 耐真空、耐工艺气体腐蚀，使用寿命长
- 可调节铰链间隙，保障腔体密封性能
- 适配 Centura、Endura 等主流设备腔体应用场景
- PVD、CVD、蚀刻、清洗腔体上盖连接
- 真空腔体开启与关闭操作机构
- 半导体设备腔体维护与备件更换
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 