产品名称：晶圆传输机械手支撑臂组件产品简介：半导体晶圆传输系统专用机械手支撑部件，用于支撑机械手末端执行器，保障机械手运动刚性与定位精度，是晶圆传输系统稳定运行的关键结构件。技术规格
- 适用机械手：200mm/300mm 晶圆传输机械手
- 材质：高强度铝合金 + 碳纤维复合结构
- 长度规格：300–500mm 可选，刚性强度≥1000N/m
- 重复定位精度：≤±0.01mm，运动无抖动
- 安装接口：标准机械手法兰，适配主流机械手功能特点
- 轻量化设计，运动惯性小，响应速度快
- 高刚性结构，长期运行无变形、无松动
- 表面阳极氧化处理，耐磨、耐腐蚀
- 安装便捷，无需工具即可快速更换
- 适配 EFEM、真空机器人等传输系统应用场景
- 晶圆传输机械手、真空机器人支撑系统
- 工艺腔体、真空锁、检测设备间晶圆传输
- 8/12 英寸晶圆全自动生产线传输设备
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 