产品名称：多路模拟量信号采集模块产品简介：半导体设备专用高精度模拟量信号采集单元，实时采集温度、压力、流量、真空度等模拟量信号，转换为数字信号传输至主控系统，保障工艺参数精准监测。技术规格
- 输入通道：16 路差分模拟量输入
- 信号类型：4–20mA、0–10V、热电偶、PT100 兼容
- 采集精度：±0.05% FS，分辨率 16 位
- 采样速率：100Hz / 通道，数据无延迟
- 通信接口：RS485+EtherCAT，支持远程数据传输
- 隔离耐压：输入输出间 1500VAC 光电隔离功能特点
- 多通道同步采集，覆盖全设备工艺参数
- 高精度、高分辨率，数据真实可靠
- 全隔离设计，抗电磁干扰能力强
- 支持信号校准与零点校正，长期稳定无漂移
- 模块化设计，可灵活扩展通道数量应用场景
- 半导体设备工艺参数监测系统
- 温度、压力、流量、真空度模拟量采集
- Centura、Endura 系列设备数据采集系统
AMAT AXF-600-423-5/8 
AMAT 7801-D-1222 
AMAT 0020-39087 
AMAT 3200-00004 