产品名称射频电源匹配变压器组件
产品简介该组件是射频传输系统的核心变压部件,用于实现射频电源与等离子体负载之间的阻抗匹配、稳定功率传输、提升等离子体点火与运行效率。
技术规格
- 适用频率:13.56MHz 标准射频频段
- 功率范围:中高功率射频系统
- 绝缘等级:超高耐压,防打火击穿
- 变比精度:高精度阻抗变换
- 散热结构:高效风冷 / 传导散热
- 接口形式:标准射频同轴接口
功能特点
- 快速稳定阻抗匹配,提升能量利用率
- 降低驻波比,减少射频反射损耗
- 高绝缘强度,杜绝高压打火与短路
- 抗干扰能力强,保证设备电气稳定
- 结构紧凑,适配标准匹配器内部空间
- 长期工作参数漂移小,可靠性高
应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD、PVD 设备射频系统
- 半导体晶圆处理工艺腔体
- 射频电源与负载匹配单元
- 先进制程半导体制造设备




AMAT 0140-15214
AMAT 0020-97794
AMAT 0010-09301