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AMAT 0190-41535

2026-02-28 15:14 已有人浏览 小编

分类Amat

产品AMAT 0190-41535

品牌AMAT

型号0190-41535

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称
射频电源匹配变压器组件
产品简介
该组件是射频传输系统的核心变压部件,用于实现射频电源与等离子体负载之间的阻抗匹配、稳定功率传输、提升等离子体点火与运行效率。
技术规格
  • 适用频率:13.56MHz 标准射频频段
  • 功率范围:中高功率射频系统
  • 绝缘等级:超高耐压,防打火击穿
  • 变比精度:高精度阻抗变换
  • 散热结构:高效风冷 / 传导散热
  • 接口形式:标准射频同轴接口
功能特点
  1. 快速稳定阻抗匹配,提升能量利用率
  2. 降低驻波比,减少射频反射损耗
  3. 高绝缘强度,杜绝高压打火与短路
  4. 抗干扰能力强,保证设备电气稳定
  5. 结构紧凑,适配标准匹配器内部空间
  6. 长期工作参数漂移小,可靠性高
应用场景
  • 等离子体刻蚀、PECVD、PVD 设备射频系统
  • 半导体晶圆处理工艺腔体
  • 射频电源与负载匹配单元
  • 先进制程半导体制造设备