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AMAT 03-81723-00

2026-02-28 15:16 已有人浏览 小编

分类Amat

产品AMAT 03-81723-00

品牌AMAT

型号03-81723-00

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称
高精度位置检测传感器组件
产品简介
该组件用于设备运动机构的位置、位移与速度检测,为控制系统提供实时精准位置反馈,保证运动定位精度与重复精度。
技术规格
  • 检测类型:非接触式高精度检测
  • 分辨率:亚微米级高分辨率
  • 响应频率:高频响应,跟踪高速运动
  • 输出信号:标准模拟 / 数字信号
  • 工作环境:真空 / 洁净室兼容
  • 安装方式:紧凑型标准化安装
功能特点
  1. 检测精度高,定位误差极小
  2. 非接触无磨损,寿命超长
  3. 抗干扰能力强,信号稳定
  4. 体积小巧,适配狭小空间
  5. 响应快速,满足高速运动控制
  6. 长期使用稳定性优异
应用场景
  • 晶圆传输机械手定位
  • 腔体升降、旋转机构位置反馈
  • 高精度运动平台控制
  • 半导体自动化设备定位系统