产品名称高精度位置检测传感器组件
产品简介该组件用于设备运动机构的位置、位移与速度检测,为控制系统提供实时精准位置反馈,保证运动定位精度与重复精度。
技术规格
- 检测类型:非接触式高精度检测
- 分辨率:亚微米级高分辨率
- 响应频率:高频响应,跟踪高速运动
- 输出信号:标准模拟 / 数字信号
- 工作环境:真空 / 洁净室兼容
- 安装方式:紧凑型标准化安装
功能特点
- 检测精度高,定位误差极小
- 非接触无磨损,寿命超长
- 抗干扰能力强,信号稳定
- 体积小巧,适配狭小空间
- 响应快速,满足高速运动控制
- 长期使用稳定性优异
应用场景
- 晶圆传输机械手定位
- 腔体升降、旋转机构位置反馈
- 高精度运动平台控制
- 半导体自动化设备定位系统




AMAT 0140-15214
AMAT 0020-97794
AMAT 0010-09301