产品名称气动驱动执行气缸组件
产品简介该组件是设备气动执行机构,用于驱动腔体门、挡板、升降台等运动部件,提供稳定推力与行程控制,保证机械动作可靠执行。
技术规格
- 缸体材质:不锈钢 / 航空铝合金
- 行程规格:标准定制化行程
- 推力输出:稳定大推力输出
- 密封形式:低摩擦长寿命密封
- 工作压力:标准工业气动压力
- 安装形式:多角度灵活安装
功能特点
- 动作平稳,推力稳定一致
- 低摩擦、低磨损,寿命长
- 密封可靠,无漏气、无卡顿
- 响应迅速,动作精准
- 结构坚固,适应高频动作
- 维护简单,更换便捷
应用场景
- 真空腔体门开关驱动
- 工艺挡板、遮挡板控制
- 晶圆承载台升降驱动
- 半导体设备气动执行单元




AMAT 0140-15214
AMAT 0020-97794
AMAT 0010-09301