产品名称设备预防性维护密封套件产品简介该套件为半导体腔体标准维护包，包含密封圈、垫片、防尘圈、隔离膜等易损易耗件，用于设备定期保养时一次性更换，快速恢复腔体真空与密封性能，降低停机时间。技术规格
- 密封材质：氟橡胶、全氟醚、金属垫片复合组合
- 适配腔体：200mm/300mm 标准工艺腔体
- 洁净等级：10 级洁净室包装
- 耐温范围：-50℃～300℃
- 真空性能：满足超高真空 UHV 要求
- 包装形式：分类独立封装，防污染功能特点
- 全套配齐，一次完成密封维护
- 材质匹配原厂标准，密封一致性高
- 洁净包装，开箱即可安装
- 降低维护难度，减少人为失误
- 延长腔体维护周期，提升稳定性
- 标准化规格，适配主流设备机型应用场景
- 刻蚀、沉积、清洗腔体定期维护
- 设备年度 / 季度预防性保养
- 真空故障排查与密封修复
- Centura、Endura 系列设备维护
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 