产品名称柔性金属波纹管管路组件产品简介该组件为半导体设备气路与冷却系统的柔性连接部件，用于补偿管路热胀冷缩、设备振动与安装偏差，同时保持高密封性与高洁净度，适用于高温、真空、腐蚀性介质环境。技术规格
- 管材材质：321 不锈钢 / 哈氏合金
- 结构形式：多层波纹管柔性结构
- 耐压等级：高压气体与液体管路标准
- 弯曲半径：小半径灵活弯曲，不易断裂
- 长度规格：定制化标准长度
- 密封形式：两端标准金属面密封功能特点
- 高柔性，可多角度弯曲安装
- 耐压、耐温、耐腐蚀性能稳定
- 补偿振动与热位移，保护硬管接头
- 内壁光滑，低释气、低污染
- 安装便捷，减少装配应力
- 寿命长，可承受频繁冷热循环应用场景
- 设备气路、冷却水管路柔性连接
- 真空泵、流量控制器、反应腔体接口
- 高温与振动环境管路补偿
- PECVD、PVD、刻蚀设备流体系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 