产品名称真空管路手动隔膜阀组件产品简介该组件是半导体高纯气路与真空系统的通断控制部件，采用无死角流道与高密封性结构，用于惰性气体、腐蚀性气体及真空管路的安全切断与调节，保障气路系统稳定运行。技术规格
- 阀体材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 密封形式：高弹性隔膜密封，零泄漏
- 操作方式：手动旋转调节
- 适用介质：高纯气体、真空环境、弱腐蚀性气体
- 接口规格：标准 VCR/face seal 接口
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 密封性能优异，长期使用无气体泄漏
- 流道内壁电解抛光，无滞留、无死角
- 耐腐蚀、耐老化，适配多种工艺气体
- 操作手感顺滑，调节精准稳定
- 体积紧凑，适合狭小空间安装
- 维护简单，使用寿命长应用场景
- 半导体设备高纯气体输送管路
- 真空系统前级管路通断控制
- 实验室与生产线气路分配单元
- 刻蚀、沉积、清洗设备气路系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 