产品名称射频信号传输同轴电缆组件产品简介该组件用于半导体设备射频系统的信号传输，连接射频电源、匹配网络与腔体电极，保障射频能量高效、稳定传输，降低信号损耗与干扰。技术规格
- 线缆材质：高纯度铜芯 + 多层屏蔽结构
- 屏蔽性能：多层电磁屏蔽，抗干扰能力强
- 阻抗：50Ω 标准射频阻抗
- 频率范围：覆盖 13.56MHz 等标准射频频段
- 接头类型：标准 N 型 / SMA 射频接头
- 耐压等级：高耐压，防打火击穿
- 长度规格：定制化标准长度功能特点
- 射频信号传输损耗低，能量利用率高
- 多层屏蔽，有效抑制电磁干扰
- 阻抗匹配精准，降低驻波比
- 高耐压，杜绝射频打火与击穿风险
- 弯曲性能好，适配复杂设备布局
- 接头连接牢固，长期使用无松动应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频系统
- 射频电源与匹配网络连接
- 腔体电极射频信号传输
- 半导体设备射频传输线路
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 