产品名称气体质量流量控制器（MFC）驱动模块产品简介该模块是气体质量流量控制器的核心驱动单元，用于接收控制信号、驱动 MFC 阀门、实时调节气体流量，保障工艺气体流量精准稳定，是气路控制系统的关键部件。技术规格
- 控制方式：闭环 PID 控制
- 输入信号：模拟量（4-20mA/0-10V）/ 数字量信号
- 输出驱动：高精度阀门驱动信号
- 通信接口：标准工业总线（Modbus/Profinet）
- 控制精度：流量调节误差≤±0.5% FS
- 响应速度：快速响应流量调节指令
- 保护功能：过流、过热、阀门异常保护功能特点
- 流量控制精准稳定，无脉动、无波动
- 闭环控制，抗干扰能力强，流量输出稳定
- 响应速度快，快速适应工艺流量变化
- 多重保护机制，保障 MFC 与气路系统安全
- 支持远程监控与参数设置
- 兼容各类 MFC 设备，通用性强应用场景
- 半导体工艺气体质量流量控制
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气路系统
- 高纯气体输送与分配系统
- 先进半导体制程设备气路控制单元
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 