产品名称半导体设备数字输入接口模块产品简介该模块是半导体设备控制系统的数字信号输入接口单元，用于将外部开关、传感器、限位等数字信号接入设备主控系统，实现信号隔离、电平转换与状态采集，保障控制系统稳定接收外部指令与状态反馈。技术规格
- 输入类型：NPN/PNP 兼容干接点 / 有源数字信号
- 通道数：多路独立输入通道
- 隔离方式：通道间光电隔离，隔离电压≥2500V
- 输入电压：24V 直流工业标准
- 响应时间：≤1ms，快速捕捉信号变化
- 输出接口：标准工业总线 / 并行数字接口
- 工作温度：-10℃～60℃，工业级宽温功能特点
- 多通道独立输入，互不干扰，支持并行信号采集
- 高等级光电隔离，彻底阻断外部干扰与地环路
- 自动识别 NPN/PNP 信号类型，适配各类传感器
- 响应速度快，实时反馈外部状态，无信号延迟
- 工业级抗干扰设计，适应复杂电磁环境
- 体积紧凑，便于设备内部集成安装应用场景
- 半导体设备外部开关、按钮、指示灯信号采集
- 晶圆传输、腔体运动限位与安全信号输入
- 设备自动化控制系统数字信号接口单元
- 工业自动化设备通用数字输入模块
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 