产品名称射频信号匹配网络控制模块产品简介该模块是半导体射频系统的核心控制单元，用于实时监测射频负载阻抗、驱动匹配网络电机、调节电容与电感参数，实现射频电源与腔体负载的阻抗匹配，保障射频能量高效传输。技术规格
- 控制对象：射频匹配网络（电容 / 电感调节）
- 通信接口：模拟量 / 数字量 / 工业总线控制
- 调节精度：步进式精密调节，匹配精度高
- 响应速度：微秒级快速响应阻抗变化
- 工作电压：24V 直流供电
- 保护功能：过压、过流、匹配异常保护功能特点
- 实时监测射频负载阻抗，动态调节匹配参数
- 快速响应阻抗变化，维持稳定匹配状态
- 多重保护机制，防止射频打火与设备损坏
- 支持远程自动控制与本地手动调节
- 适配 13.56MHz 等标准射频频段
- 结构紧凑，适配射频柜狭小空间应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频匹配控制
- 射频电源与腔体电极阻抗匹配系统
- 半导体设备射频能量传输控制单元
- 先进制程射频工艺控制系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 