产品名称真空计信号采集与控制模块产品简介该模块用于半导体真空系统的真空度信号采集、处理与控制，接收真空计模拟 / 数字信号，完成信号放大、滤波、转换与阈值判断，为真空系统控制提供精准数据与安全联锁。技术规格
- 输入信号：兼容皮拉尼、冷阴极、热阴极真空计信号
- 测量范围：覆盖高真空 / 超高真空量程
- 采集精度：≤±0.5% FS，信号无失真
- 输出控制：多路开关量 / 模拟量控制信号
- 通信接口：标准工业总线（Modbus/RS485）
- 工作电压：24V 直流供电功能特点
- 兼容多类型真空计，通用性强
- 信号采集精准稳定，长期无漂移
- 实时滤波，抑制真空环境干扰信号
- 支持真空阈值报警与安全联锁控制
- 远程监控与数据传输，便于系统集成
- 工业级稳定性，适应真空设备长期运行应用场景
- 半导体真空腔体真空度监测与控制
- 真空泵组启停与安全联锁控制
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空系统
- 高真空 / 超高真空工艺环境监控
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 