产品名称高纯气体管路过滤器组件产品简介该组件用于半导体高纯气路系统的颗粒与杂质过滤，安装于气体输送管路中，有效去除气体中的微颗粒、粉尘与杂质，保障工艺气体洁净度，避免晶圆污染与设备故障。技术规格
- 过滤材质：高纯度 316L 不锈钢 / 聚四氟乙烯复合滤芯
- 过滤精度：0.003μm，满足超高洁净要求
- 耐压等级：中高压气体管路标准
- 接口规格：标准 VCR/face seal 接口
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 超高过滤精度，彻底去除微颗粒杂质
- 低流阻设计，不影响气体流量与压力稳定
- 耐腐蚀，适配各类危险工艺气体
- 内壁光滑，无气体滞留，易吹扫清洁
- 密封可靠，长期使用无泄漏
- 更换便捷，维护成本低应用场景
- 半导体工艺气体输送管路过滤
- MFC、阀门、腔体前端气体净化
- 刻蚀、CVD、ALD 设备高纯气路系统
- 先进半导体制程气体净化单元
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 