产品名称气体管路压力调节组件产品简介该组件用于半导体气路系统的压力稳定调节，安装于气体输送管路中，实现输入压力的精密调节与稳定输出，保障工艺气体压力恒定，提升工艺重复性与稳定性。技术规格
- 调节范围：适配中低压工艺气体管路
- 调节精度：≤±0.5% FS，压力输出稳定
- 耐压等级：中高压气体管路标准
- 接口规格：标准 VCR/face seal 接口
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 压力调节精准稳定，无脉动、无波动
- 快速响应压力变化，维持输出恒定
- 耐腐蚀，适配各类危险工艺气体
- 密封可靠，长期使用无泄漏
- 结构紧凑，便于管路集成安装
- 维护简单，使用寿命长应用场景
- 半导体工艺气体压力稳定调节
- MFC、腔体前端气体压力控制
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气路系统
- 高纯气体输送与分配系统
AMAT 0140-15214 
AMAT 0020-97794 
AMAT 0010-09301 