产品名称高纯气体管路接头组件产品简介该组件用于半导体高纯气路系统中管路、阀门、过滤器、质量流量控制器之间的密封连接，保证气路无泄漏、无死角、无污染，满足超高洁净工艺要求。技术规格
- 材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 连接形式：金属面密封结构
- 表面粗糙度：内壁电解抛光，Ra≤0.38μm
- 耐压等级：中高压气体管路标准
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 尺寸规格：标准半导体气路接口功能特点
- 密封性能卓越，实现零泄漏连接。
- 内壁光滑无死角，气体无滞留、易吹扫。
- 耐腐蚀性能优异，兼容危险工艺气体。
- 重复拆装性能稳定，不损伤密封面。
- 安装简单，定位精准，一致性高。
- 符合半导体高洁净气路行业标准。应用场景
- 半导体工艺气体输送管路连接
- 质量流量控制器、阀门、过滤器接口
- 刻蚀、CVD、ALD、清洗设备气路系统
- 高纯特种气体输送与分配系统
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 