产品名称真空计信号转换采集模块产品简介该模块用于接收真空计输出信号，进行放大、滤波、线性化与模数转换，将真空度信号转换为标准控制信号，供设备系统监控、联锁与显示。技术规格
- 输入信号：兼容皮拉尼、冷阴极真空计信号
- 测量范围：覆盖低真空至高真空区间
- 输出信号：4–20mA、0–10V 标准模拟量
- 采集精度：≤±0.1% FS
- 隔离方式：输入输出电气隔离
- 工作电压：24V 直流供电功能特点
- 信号采集精准，长期无漂移。
- 硬件滤波，抑制真空环境干扰噪声。
- 输入输出全隔离，提升系统安全性。
- 响应速度快，实时反映真空度变化。
- 支持多点校准，适配不同真空计。
- 结构紧凑，便于控制柜安装。应用场景
- 半导体真空腔体真空度监测
- 真空泵组、真空管路压力监控
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空系统
- 高真空、超高真空工艺环境
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 