产品名称高纯气体气动隔膜阀组件产品简介应用于半导体高纯气路系统的精密控制阀门，采用气动驱动与隔膜密封结构，实现工艺气体的精准通断与流量控制，满足超高洁净、零泄漏的严苛要求。技术规格
- 材质：高纯度 316L EP 级不锈钢
- 密封形式：PTFE/FFKM 复合隔膜密封
- 驱动方式：气动执行器驱动
- 接口规格：1/4" VCR 标准接口
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 耐压：0–1.0MPa
- 洁净等级：超高洁净、无释气功能特点
- 零泄漏密封，保障气路安全
- 响应速度快，开关动作精准
- 耐腐蚀，兼容各类危险工艺气体
- 内壁光滑无死角，易吹扫、无残留
- 结构紧凑，适合狭小空间安装
- 使用寿命长，维护周期长应用场景
- 半导体工艺气体输送管路控制
- 质量流量控制器（MFC）前后阀门
- 刻蚀、CVD、ALD 设备气路系统
- 高纯特种气体分配与输送系统
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 