产品名称晶圆制程光学检测传感器组件产品简介专为半导体晶圆制造工艺设计的高精度光学检测组件，集成光学成像、信号采集与数据处理功能，用于晶圆表面缺陷、膜厚均匀性、关键尺寸的实时在线检测，保障制程稳定性与产品良率。技术规格
- 检测类型：光学散射 / 反射式检测
- 分辨率：纳米级缺陷检测精度
- 检测范围：覆盖 200mm/300mm 晶圆全表面
- 光源：高稳定单色激光光源
- 数据接口：高速工业以太网 / 光纤接口
- 工作环境：洁净室 Class 100 兼容功能特点
- 检测精度高，可识别纳米级微小缺陷
- 检测速度快，支持在线实时检测
- 数据处理能力强，自动生成检测报告
- 抗干扰能力强，适应复杂工艺环境
- 稳定性高，长期运行无漂移
- 支持远程监控与数据上传应用场景
- 晶圆表面缺陷检测
- 薄膜厚度均匀性检测
- 关键尺寸（CD）量测
- 刻蚀、沉积、清洗工艺后检测
- 半导体先进制程质量控制
AMAT 0015-00284 
AMAT 0190-18266 
AMAT 0021-17719 
AMAT 3700-02030 