产品名称：FFKM 全氟醚超高纯 O 型圈产品简介：采用全氟醚橡胶（FFKM）材质，专为半导体工艺腔室密封设计，耐受极端化学腐蚀与高温。技术规格：
- 材质：Kalrez 4079/6375 全氟醚橡胶，符合 SEMI C12 标准
- 规格：线径 3.53mm，内径 120mm，公差 ±0.1mm
- 硬度：Shore A 75±5，压缩永久变形 < 5%（200°C×70h）
- 温度范围：-20°C 至 320°C（连续），短期 350°C
- 化学兼容性：耐受 HF、HNO₃、H₂SO₄、ClF₃、NF₃、O₂ 等离子体功能特点：
- 超高纯度：金属离子析出 < 1ppb，无硅、无卤素释放
- 耐等离子体：抗氧等离子体、氟等离子体侵蚀，寿命长
- 密封性能：真空侧 < 1×10⁻¹¹ atm・cc/s，正压侧 20bar
- 洁净度：Class 10 洁净室生产，无颗粒污染应用场景：
- 刻蚀腔室、沉积腔室、离子注入腔室门密封
- 气体管路、阀门、泵浦法兰密封
- 300mm/450mm 晶圆制程设备、先进封装设备
- 半导体厂化学品输送系统、废气处理系统
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 