产品名称：300mm 真空波纹管总成产品简介：用于半导体设备真空管路柔性连接，补偿安装偏差、吸收振动，维持超高真空密闭环境。技术规格：
- 材质：316L 不锈钢，内壁电解抛光（Ra < 0.4μm）
- 规格：内径 300mm，长度 200mm，伸缩量 ±30mm
- 法兰：ISO-KF 160/200 快装法兰，密封面粗糙度 Ra < 0.2μm
- 耐压：真空侧 < 1×10⁻⁹ Torr，正压侧 10bar
- 温度范围：-196°C 至 250°C（液氮至高温工艺）功能特点：
- 柔韧性：轴向、径向、角向多维度补偿，安装自由度高
- 气密性：氦检漏率 < 1×10⁻¹⁰ atm・cc/s，无泄漏
- 耐腐蚀性：耐受 HF、ClF₃、NF₃ 等腐蚀性工艺气体
- 寿命：≥10,000 次循环，免维护应用场景：
- 分子泵、干泵、真空腔室柔性连接
- 气体输送管路、CMP 化学机械抛光设备真空系统
- 刻蚀、沉积、离子注入设备真空管路
- 洁净室超高真空系统、半导体厂中央真空管网
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 