产品名称：高精度压力变送器产品简介：用于半导体工艺气体与真空系统压力精确测量与信号转换，将压力物理量转换为标准电信号，适配气体柜、真空管路、工艺腔室等压力监控场景。技术规格
- 测量范围：0–100 Torr / 0–1000 Torr 可选
- 精度：±0.1% F.S.
- 输出：4–20mA / 0–5V 可选
- 供电：24V DC
- 响应时间：< 100ms
- 介质兼容性：兼容 N₂、O₂、Ar、SiH₄、NH₃ 等工艺气体
- 防护等级：IP65功能特点
- 高精度、高稳定性，长期漂移小
- 宽温度补偿，-10℃ ～ 60℃ 自动补偿
- 抗电磁干扰，适配半导体设备电磁环境
- 结构紧凑，安装便捷
- 具备过压、反接保护功能应用场景
- 半导体气体柜、气体分配系统（GDS）压力监控
- 真空管路、工艺腔室压力测量
- 刻蚀、沉积、离子注入设备气体压力控制
- 半导体厂公用工程压力监测
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 