产品名称：Phasetronic 灯驱动器组件产品简介：专为半导体设备光学检测系统设计的光源驱动模块，为 Phasetronic 灯提供稳定供电与精确控制，保障光学检测、膜厚测量、终点检测等功能稳定运行。技术规格
- 输入电源：220V AC，50/60Hz
- 输出功率：0–100W 连续可调
- 控制方式：模拟量 0–10V / 数字 I/O
- 稳定度：功率波动 < ±1%
- 响应时间：< 50ms
- 保护机制：过流、过压、过热、短路保护
- 工作温度：0–45℃功能特点
- 输出稳定，光强波动极小，保障检测精度
- 支持远程控制与实时监控
- 多重保护机制，延长光源寿命
- 低噪声、低电磁干扰，适配精密检测环境
- 兼容多种 Phasetronic 灯型，通用性强应用场景
- 半导体设备光学终点检测（EPD）系统
- 膜厚测量、光学检测设备
- 晶圆表面缺陷检测系统
- 刻蚀、沉积工艺过程监控
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 