产品名称：PMT 光电倍增管探测器组件产品简介：用于半导体设备光学检测系统的高灵敏度光电探测模块，将微弱光信号转换为电信号，适配等离子体发射光谱、膜厚测量、终点检测等场景。技术规格
- 探测类型：光电倍增管（PMT）
- 光谱响应：185–900nm
- 增益：10⁶–10⁷
- 响应时间：< 10ns
- 供电：高压 1000–1500V DC
- 输出：模拟电流信号
- 工作温度：0–50℃功能特点
- 超高灵敏度，可探测极微弱光信号
- 宽光谱响应，适配多种光学检测需求
- 快速响应，满足实时检测要求
- 低噪声、高信噪比，检测精度高
- 结构紧凑，易于集成到检测系统应用场景
- 等离子体发射光谱（OES）检测
- 刻蚀、沉积工艺终点检测
- 膜厚测量、光学检测设备
- 晶圆表面缺陷检测系统
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 