产品名称：探测器板组件产品简介：半导体设备信号检测与处理核心模块，负责接收、放大、滤波和处理来自传感器或探头的信号，实现工艺环境与运行状态实时监控，是沉积、刻蚀、离子注入等工艺的关键监测环节。技术规格
- 电路结构：多层印刷电路板，集成探测与信号处理模块
- 信号输入：支持模拟与数字信号输入
- 采样频率：最高 1MHz
- 信号放大：增益 1–1000 倍可调
- 滤波：低通、高通、带通滤波可选
- 通信接口：RS-232/485、DeviceNet
- 工作温度：0–50℃功能特点
- 信号处理能力强，噪声抑制效果好
- 高速采样，满足实时监控需求
- 多功能滤波，提升信号质量
- 兼容多种传感器，通用性强
- 具备故障诊断与报警功能应用场景
- 薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）工艺监控
- 刻蚀工艺终点检测与等离子体状态监控
- 离子注入系统束流强度检测
- 真空腔体状态与工艺参数监测
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 