产品名称：射频匹配网络组件产品简介：用于半导体射频等离子体设备的阻抗匹配单元，实现射频电源与等离子体负载之间的阻抗匹配，最大化射频功率传输效率，稳定等离子体状态。技术规格
- 工作频率：13.56MHz
- 匹配范围：5–500Ω
- 匹配速度：< 100ms
- 驻波比：< 1.2:1
- 功率容量：0–3000W
- 控制方式：自动匹配 / 手动控制
- 通信接口：RS-232、数字 I/O功能特点
- 快速自动匹配，适应负载动态变化
- 驻波比低，功率传输效率高
- 多重保护机制，保障设备安全
- 支持远程监控与参数调整
- 结构紧凑，散热良好，可靠性高应用场景
- 射频等离子体刻蚀、沉积设备
- PECVD、ICP 干法刻蚀设备
- 射频清洗、表面改性设备
- 半导体射频工艺系统功率匹配
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 