产品名称：真空晶圆传输机械臂模块
产品简介：应用材料公司（Applied Materials）为半导体制造设备设计的晶圆传输机械臂模块，属于 Endura® PVD（物理气相沉积）平台的核心传输组件，专用于在超高真空环境下实现晶圆的无污染传输。
技术规格：
- 适用平台：Endura® PVD 平台
- 运动轴数：3 轴（R-θ-Z）
- 重复定位精度：±0.025 mm
- 最大行程：R 轴 600 mm，Z 轴 150 mm
- 真空等级：10⁻⁸ Torr（工作），10⁻¹⁰ Torr（极限）
- 传输速度：2.5 m/s（最大），加速度 2G
- 负载能力：300 mm 晶圆（最大 12 英寸）
- 颗粒控制：≤0.05 μm @ Class 1 洁净度
- 通信接口：SECS/GEM、Modbus TCP/IP
- 电源要求：48 V DC ±5%，峰值功耗 500 W
- 重量：8.7 kg
材质构成：316L 不锈钢（镀镍）+ 氧化铝陶瓷轴承，低释气材料。
功能特点：
- 集成高精度直线电机与真空兼容陶瓷轴承
- 双级闭环控制（编码器 + 激光干涉仪）
- 磁悬浮驱动技术消除机械摩擦
- 配合 AMAT Smart Transport™ 算法实现加速度 2G 平滑运动（振动幅度 <5 μm）
- 模块化设计支持热插拔更换，MTTR（平均修复时间）< 30 分钟
工作原理：通过磁悬浮驱动与双级闭环控制，在超高真空环境下实现晶圆在负载锁（Load Lock）、传输腔（Transfer Chamber）及工艺腔（Process Chamber）之间的精准搬运。
应用场景：28 nm 以下先进制程晶圆厂，Endura® PVD 设备中的晶圆搬运。
AMAT 0190-24007 
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 