产品名称：CPCI-3720CF 3U CompactPCI 单板计算机（SBC，亦对应 AS03720-23 / MKS-TENTA CPCI-3720CF）。

产品简介：Applied Materials（AMAT）为 300 mm 半导体制造设备（CMP、PECVD、刻蚀、沉积、机械手）开发的高可靠嵌入式主控板，基于 3U CompactPCI 架构，无风扇、抗振动，运行实时/嵌入式系统执行工艺顺序、真空互锁与机器人控制。

技术规格：

功能特点：无风扇被动散热杜绝颗粒产生；靠近等离子/RF 源信号完整性高；执行晶圆序列、机械手轨迹、真空安全互锁；cPCI 背板热插拔架构；CompactFlash + EEPROM 非易失配置。

应用场景：AMAT Reflexion LK/LK Prime CMP、Producer GT/SE PECVD/SACVD、Centura AP 刻蚀/热工艺、Endura 2 沉积机械手与真空安全控制。

材质构成：FR4 多层 PCB、铝合金散热支架、金手指 cPCI 边缘连接器、钢板安装耳。

工作原理：从 CompactFlash 引导实时系统，经 cPCI 背板与以太网同 I/O 卡、DeviceNet 扫描器、串口仪表、互锁模块通信，执行设备配方与连锁逻辑。

安装要求：插入 3U cPCI 机箱槽位，锁紧前面板，接背板电源与总线，烧入与设备软件版本匹配的 CF 镜像。

使用注意：冗余主机间勿混用固件版本；CF 镜像必须备份；禁止改用商用级内存条；伺服/插拔需 ESD 防护。