TURBOVAC 50 涡轮分子泵

LEYBOLD TURBOVAC 50 是紧凑型高真空和超高真空涡轮分子泵，用于需要清洁真空环境的半导体、分析仪器、科研和镀膜设备。

品牌：LEYBOLD

型号：TURBOVAC 50，也称 V50

泵类型：涡轮分子泵

氮气抽速：约 50 升/秒

极限压力：小于 1 × 10⁻⁸ 毫巴，配合合适前级泵

入口法兰：DN 63 ISO-K

最大前级压力：约 1 毫巴

转速：约 72000 转/分钟

轴承：混合陶瓷球轴承

润滑：工艺侧无油，轴承侧脂润滑

冷却方式：风冷，可选水冷

安装方向：支持多种安装姿态

结构紧凑，节省腔体空间

工艺侧无油，避免碳氢污染

启停速度快，适合工艺循环

低振动，适合精密仪器

可与 LEYBOLD 涡轮泵控制器配套使用

半导体制造

质谱仪

电子显微镜

PVD、CVD 薄膜沉积

光学镀膜

氦检漏系统

科研真空装置

必须配置合适的前级真空泵

首次启动按控制器要求逐步加速

避免颗粒物进入入口法兰

水冷版本需保证冷却水流量和密封

长期停用应按厂家要求进行保养