产品名称：真空压力/流量控制电子单元，公开资料存在两类配置。

产品简介：一类作为Baratron电容式绝对压力传感器配套控制器，用于半导体和真空工艺压力测量；另一类作为T3B系列高速节流/蝶阀控制器，用于腔室抽气、气体流量与压力调节。

技术规格（压力控制器配置）：配套MKS Baratron电容式绝对压力传感器；典型量程0至1000Torr，另可提供10、100、2000Torr等；绝对压力测量；基本精度±0.25%读数；双输出0至10V与4至20mA；RS-485 Modbus；供电85至264V交流或90至264V直流；功耗小于30VA；前面板IP40；1/8 DIN面板或导轨安装。

技术规格（阀控制器配置）：支持模拟I/O、离散I/O、RS-232/RS-485/Modbus或DeviceNet，依订货版本而定；控制范围依双传感器配置可实现0.0001%至100%满量程；设定精度0.25%设定值或5mV取大者；阀体工作温度可依选项至105℃或150℃；DeviceNet控制11至25V直流，阀电源24V直流、最大小于100W。

功能特点：自动温度补偿；双模拟输出同时可用；远程通信集成；阀控版本支持开度、速度、全开全关编程。

性能参数：压力版本长期稳定性小于±0.5%读数/年；工作环境0至50℃操作、−20至70℃存储；阀版本电机电子0至40℃、阀体可按选项提高。

材质构成：电子单元金属/塑料面板结构；阀控版本密封可采用Kalrez、Chemraz等耐化学材料。

结构特征：压力控制器为1/8 DIN仪表结构；阀控制器含驱动模块、通信接口与阀体执行机构。

工作原理：压力版本通过电容式传感器检测膜片位移，电子单元转换为标准模拟和数字化数值；阀版本由位置/压力反馈调节电机，改变节流口面积控制流量与压力。

安装要求：压力控制器面板开孔或导轨固定，传感器线缆短捷并避开强电磁源；阀控制器按真空法兰对接，通信线独立走线，DeviceNet电源与阀电源分开。

使用注意事项：按铭牌量程、通信协议和传感器型号订货；半导体工艺避免超限真空与腐蚀性介质不匹配；定期校准零点和满度；更换阀密封件使用原厂指定材质。