产品名称:高纯度气体隔离阀(波纹管密封)产品简介:气动波纹管密封阀,用于 Gasonics 气体输送系统中高纯度工艺气体隔离。技术规格:
- 类型:气动波纹管密封阀
- 阀体:316L 电解抛光不锈钢
- 密封:Kalrez
- 耐压:真空~150 PSIG
- 通径:1/4"功能特点:
- 零内漏
- 高纯度、防污染
- 动作快速
- 低死体积应用场景:气体管路、 manifold 中控制高纯气体通断,防止交叉污染。
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产品Gasonics 17387-01E
品牌Gasonics
型号17387-01E
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