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Gasonics 17396-01B

2026-03-06 13:59 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 17396-01B

品牌Gasonics

型号17396-01B

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称：工艺腔气体分配环（喷淋头）

产品简介：精密加工气体分配环，均匀送入工艺气体至等离子腔，V2 版优化孔位布局。

技术规格：

材质：316L 电解抛光不锈钢
直径：300mm
孔数：400 个 0.5mm 精密孔
进气：双 1/4" VCR
功能特点：
气体分布均匀
高纯度、低出气率
流道优化，压力损失小
易清洁维护
应用场景：等离子腔顶部，均匀分布反应气体，保证刻蚀 / 去胶均匀性与高良率。

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