产品名称：高纯度真空密封圈产品简介：精密弹性体 O 型圈，用于 Gasonics 工艺腔、负载锁、气路系统真空密封。技术规格：
- 材质：高纯度 Viton / Kalrez
- 耐温：Viton ‑20～200℃；Kalrez ‑20～300℃
- 真空等级：超高真空兼容
- 耐腐蚀性：优异耐工艺气体与等离子功能特点：
- 超高纯度，无晶圆污染
- 抗压缩永久变形，寿命长
- 耐强腐蚀工艺气体
- 低出气率应用场景：腔门、气路接头、真空泵接口密封，保证真空与工艺完整性。
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Gasonics 17409-01A
2026-03-06 13:59 已有人浏览 小编
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产品Gasonics 17409-01A
品牌Gasonics
型号17409-01A
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