产品名称:高纯度气体输送集管产品简介:精密气体集管总成,用于向 Gasonics 等离子腔分配高纯度工艺气体。技术规格:
- 材质:316L 电解抛光不锈钢
- 阀门:波纹管密封气动阀
- 耐压:真空~150 PSIG
- 接头:VCR 面密封功能特点:
- 超高纯度,无污染
- 低死体积,气体切换快
- 集成压力传感器
- 结构紧凑应用场景:气体柜、气箱内,精确控制输送等离子腔工艺气体。
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产品Gasonics 3750-01028
品牌Gasonics
型号3750-01028
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