产品名称:高纯度石英气体喷射器总成产品简介:精密熔融石英喷射器,将工艺气体均匀导入等离子腔,高纯度无污染。技术规格:
- 材质:99.99% 熔融石英
- 耐温:最高 1200℃
- 表面:电解抛光
- 适配:PEP、Aura 系列功能特点:
- 超高纯度
- 耐等离子腐蚀
- 低出气率
- 孔位精密,气流均匀应用场景:等离子腔内部,均匀分布反应气体,保证工艺均匀性。
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产品Gasonics 500127064
品牌Gasonics
型号500127064
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