产品名称：MFC/MFM 接口电路板 / 流量控制板产品简介：连接质量流量控制器 MFC/MFM 与主机系统的接口板，负责气体流量控制与监控。技术规格：
- 功能：MFC/MFM 通讯与控制
- 接口：模拟 0–5V、4–20mA、数字 RS‑485
- 通道：多通道支持
- 供电：24V 直流
- 适用：Aura、L3500 系列功能特点：
- 工艺气体流量精确控制
- 实时流量监控反馈
- 输入隔离，防地环路
- 存储校准数据
- 流量异常检测应用场景：半导体等离子刻蚀、沉积工艺中，调节监控 O₂、Ar、CF₄ 等工艺气体流量。
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Gasonics 90-1028-01
2026-03-06 14:03 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 90-1028-01
品牌Gasonics
型号90-1028-01
价格电议
质保一年
电话 15359273790
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
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