产品名称:FabMotion 控制器电路板产品简介:专用运动控制板,管理 Gasonics 设备晶圆搬运机器人运动与轨迹。技术规格:
- 功能:多轴机器人运动控制
- 接口:伺服驱动、编码器反馈
- 处理器:16 位单片机
- 通讯:RS‑232/485功能特点:
- 高精度定位,亚毫米级
- 平滑加减速,防晶圆破损
- 多轴联动
- 故障自诊断应用场景:控制机器人手臂与定位台运动,实现半导体等离子设备精准晶圆搬运。
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产品Gasonics 90-2570
品牌Gasonics
型号90-2570
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