产品名称:晶圆搬运控制器电路板套装(B 版)产品简介:Gasonics Aura A‑2000LL 机器人核心控制系统,90-2678 B 为主运动控制器,90-2679 为辅助 I/O 板。技术规格:
- 主控板:32 位工业单片机
- 辅助板:16 入 12 出,4 路模拟
- 通讯:RS‑485
- 供电:24V 直流功能特点:
- 分布式处理,运动高速
- 实时轨迹规划
- 安全联锁完善
- 故障诊断上报应用场景:控制机器人全部动作,实现 200mm 晶圆在负载锁与工艺腔间自动化传输。
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产品Gasonics 90-2678B
品牌Gasonics
型号90-2678B
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