产品名称：200mm 晶圆机械臂真空吸附控制板产品简介：A‑2000LL 机械臂专用控制板，负责真空吸附压力监测、吸片 / 放片控制与破真空保护。技术规格：
- 控制：真空监测、吸附 / 破真空阀驱动
- 压力检测：0～‑100kPa，±0.5kPa
- 接口：2 路压力输入，4 路阀输出
- 通讯：RS‑485
- 供电：24V 直流功能特点：
- 吸附压力自适应
- 压力不足立即停机保护
- 破真空延时，放片平稳
- 漏气检测报警应用场景：机械臂单元内，控制晶圆真空抓取与释放，保证真空 / 大气环境下安全传输。
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Gasonics 94-2805
2026-03-06 14:05 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 94-2805
品牌Gasonics
型号94-2805
价格电议
质保一年
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